摘要

描述Spacer Patterning.JPG	English: Spacer patterning: First pattern Deposition of mask material Etching to form sidewall spacers Removal of first pattern Etching using remaining spacers as mask Removal of spacers, leaving final pattern
日期	2008年3月8日
来源	自己的作品 (原始说明文字： " Own work ") Transferred from en.wikipedia to Commons by User:Cepheiden using CommonsHelper.
作者	Guiding light at en.wikipedia
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• 2008-03-08 14:07 Guiding light 393×576× (19013 bytes) Spacer patterning: * First pattern * Deposition of mask material * Etching to form sidewall spacers * Removal of first pattern * Etching using remaining spacers as mask * Removal of spacers, leaving final pattern