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光罩盒
(
Mask Package
),意为储存
光罩
的盒子,主要用于避免光罩遭受外部微尘粒子及
化学污染
[
1
]
。
分类
光罩运输盒:由光罩制作厂运输至晶圆厂间运输用;
光罩厂区内部运输盒;
光罩机台传送盒:将光罩送入机台的盒子,针对特定的设备使用不同的传送盒。其中包括非SMIF系统和SMIF系统。
参照
光罩
参考文献
^
光罩載具
.
[
2010-03-19
]
. (原始内容
存档
于2018-12-10).
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:
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