上海微電子
上海微電子裝備(集團)股份有限公司 | |
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Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. | |
公司類型 | 上市公司 |
成立 | 2002年 |
總部 | 中華人民共和國上海市浦東新區張東路1525號 |
產業 | 半導體產業 |
產品 | 半導體 光刻系統 |
母公司 | 上海張江高科技園區開發股份有限公司 |
網站 | www |
上海微電子裝備(集團)股份有限公司(簡稱SMEE)是中國大陸半導體裝備製造商,主要生產半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、製造、銷售及技術服務[1]。
沿革
2018年,上海微電子裝備所能投產的光刻機製程為90nm[2],後於有傳聞更精良的28nm光刻機製程據聞將於2021年首季問世[3][4][5],但亦未確定28nm機型的量產能力,由於過去未如外國廠商集合商業聯盟進行聯合開發,在科研單位與業界支援力道不足下,因而銷售市佔主要僅在中低階光刻機與相關裝置[6][7],但隨着美國向中國大陸禁運光刻機,中國國產光刻機的發展被廣受關注[8]。但據2021年《第一財經》報導,近日發佈的《中國集成電路產業人才發展報告(2020-2021年版)》顯示中國大陸半導體人才短缺高達20餘萬人,中國大陸半導體產業的情況並不樂觀[9]。
到了2023年5月開始,不少訊息據稱更精良的首部28nm光刻機樣機"SSA/800-10W"據聞將於2023年末投入測試[10][11][12],但是並沒有更多相關細節流出。
2022年7月7日,'上海微電子舉行了首台2.5D/3D先進封裝光刻機的交付儀式,但該機器是用於晶片下游製造的先進封裝光刻機,並非此前關注的用於晶片上游製造的光刻機[13]。現今,上海微電子裝備生產的先進封裝光刻機在中國大陸的市佔率達80%,海外市佔率達40%[13]。
光刻機產品
- SSX600系列:用於晶片上游製造,最先進可以用於90nm晶片的製造[13]。
- SSX500系列:用於晶片下游製造,即先進封裝[13]。
- SSX300系列,面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領域[14]
- SSX200系列,專用於AM-OLED和LCD顯示器TFT電路製造,可應用於2.5代~6代的TFT顯示器量產線。[14]
參見
參考來源
- ^ 发展历程. [2018-11-07]. (原始內容存檔於2020-10-05).
- ^ 由国内三台光刻机开始的一些思考. [2018-11-07]. (原始內容存檔於2018-11-07).
- ^ 上海微電子28nm光刻機明年交付!意義何在?. [2020-06-07]. (原始內容存檔於2020-12-07).
- ^ 國內28nm光刻機有望明年出貨,離半導體自給自足又近了一步. [2020-12-07]. (原始內容存檔於2022-02-11).
- ^ China's 28nm-Capable Chip Fabbing Tool on Track Amid Trade War. [2020-12-06].
- ^ 為什麼光刻機比原子彈還難造?. [2021-01-28]. (原始內容存檔於2021-02-04).
- ^ 讲述上海微电子的故事,还原国产28nm光刻机真相. [2021-03-16]. (原始內容存檔於2021-01-23).
- ^ 觀點投書:中國向光刻機急起直追. [2020-12-22]. (原始內容存檔於2021-01-04).
- ^ 發展半導體產業 大陸未來兩年至少還缺20萬人才. [2021-11-18]. (原始內容存檔於2021-11-18).
- ^ 中國首台28nm光刻機到底有沒有出爐?聽起來有點太玄乎. [2023-05-09]. (原始內容存檔於2023-08-07).
- ^ 國產光刻機有望取得突破 首台國產28nm工藝沉浸式光刻機最快年底交付. [2023-08-03]. (原始內容存檔於2023-08-07).
- ^ Chinese firm expected to deliver 28nm chip machine at year-end: media report. [2023-08-01]. (原始內容存檔於2023-10-09).
- ^ 13.0 13.1 13.2 13.3 聯合報記者黃雅慧. 上海微電子小躍進 新一代「先進封裝光刻機」交付. 聯合新聞網. 2022-02-08 [2022-07-27]. (原始內容存檔於2022-07-27) (中文(臺灣)).
- ^ 14.0 14.1 300系列光刻机. [2022-10-02]. (原始內容存檔於2022-10-02).