人造胚晶
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所谓人造胚晶[1],系指透过合成手段制出之单晶晶锭。[2]硅之人造胚晶乃当今多数集成电路所用之基础原料。
今之半导体产业有数种方法可以制造人造胚晶, 如布里奇曼法[3]、柴式拉晶法等,产物往往以圆柱体之晶棒型式居多。[4]
若以柴式拉晶法拉造人造胚晶,须先备妥一晶种,始得进行后续造大晶体、晶锭之程序。晶种沾入纯硅熔融液,然后再缓缓将之拉起。凝固自熔融液的新晶体将有与晶种相同之秩序,进而形成圆柱型的大颗单晶,是为人造胚晶。
圆柱型之人造胚晶通常会被钻石锯刀切成晶圆片。晶圆片又经抛光有了平整的表面,才能成为适合制造半导体装置的基板。同样的制程也可以用来制造蓝宝石基板。蓝宝石基板是制造蓝色、白色发光二极管的材料,也可用在特殊用途的光窗[5]或手表的保护壳。
参考文献
- ^ 存档副本. [2017-02-17]. (原始内容存档于2017-02-26).
- ^ fundementals of silicon carbide technology. [2017-02-25]. (原始内容存档于2019-09-29).
- ^ crystal growth handbook. [February 25, 2017]. (原始内容存档于2019-09-30).
- ^ continuous czochralski process development. [2017-02-25]. (原始内容存档于2019-10-13).
- ^ 存档副本. [2017-02-17]. (原始内容存档于2019-07-18).