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User:Bluedecklibrary/微技术

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一块蚀刻硅片

微技术({{lang-en|Micro-technology}})包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學(Optical MEMS)、生物醫學(Bio MEMS)、電腦與週邊(Computer Perip-heral MEMS)微機電系統研究[1][2]

参考

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Category:各类技术

  1. ^ {{Cite book|title=微纳米测量技术|last=王伯雄等编著|first=|publisher=北京:清华大学出版社 ,|year=2006.08|isbn=7-302-13063-9|location=|pages=2-3}}
  2. ^ {{Cite book|title=先进制造技术|last=杨继全,朱玉芳编著|first=|publisher=北京:化学工业出版社 ,|year=2004.09|isbn=7-5025-5961-2|location=|pages=237}}