跳至內容

圖書館:微技术

維基百科,自由的百科全書
一塊蝕刻矽片

微技術({{lang-en|Micro-technology}})包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學(Optical MEMS)、生物醫學(Bio MEMS)、電腦與週邊(Computer Perip-heral MEMS)微機電系統研究[1][2]

參考

{{reflist}} {{技術}}

Category:各類技術

  1. ^ {{Cite book|title=微奈米測量技術|last=王伯雄等編著|first=|publisher=北京:清華大學出版社 ,|year=2006.08|isbn=7-302-13063-9|location=|pages=2-3}}
  2. ^ {{Cite book|title=先進製造技術|last=楊繼全,朱玉芳編著|first=|publisher=北京:化學工業出版社 ,|year=2004.09|isbn=7-5025-5961-2|location=|pages=237}}