图书馆:微技术

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存档UTC时间	2018年6月27日 15:47
存档编者	Bluedeck
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微技术（{{lang-en|Micro-technology}}）包含了微机电感测和控制、驱动元件制程开发技术、微机电系统整合技术、射频(RF MEMS)、光学（Optical MEMS）、生物医学（Bio MEMS）、电脑与周边（Computer Perip-heral MEMS）微机电系统研究^[1]^[2]。

参考

Category:各类技术

^ {{Cite book|title=微纳米测量技术|last=王伯雄等编著|first=|publisher=北京：清华大学出版社 ,|year=2006.08|isbn=7-302-13063-9|location=|pages=2-3}}
^ {{Cite book|title=先进制造技术|last=杨继全，朱玉芳编著|first=|publisher=北京：化学工业出版社 ,|year=2004.09|isbn=7-5025-5961-2|location=|pages=237}}

[1] {{Cite book|title=微纳米测量技术|last=王伯雄等编著|first=|publisher=北京：清华大学出版社 ,|year=2006.08|isbn=7-302-13063-9|location=|pages=2-3}}

[2] {{Cite book|title=先进制造技术|last=杨继全，朱玉芳编著|first=|publisher=北京：化学工业出版社 ,|year=2004.09|isbn=7-5025-5961-2|location=|pages=237}}

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